专利名称：QUANTITATIVE ANALYSIS LIMIT
DETERMINATION METHOD IN IRONCONCENTRATION ANALYSIS IN BORON-DOPED P-TYPE SILICON
发明人：FUSEGAWA KAZUHIRO,府瀬川 和宏,KUBOTA
TSUYOSHI,久保田 剛志
申请号：JP2009202765申请日：20090902公开号：JP20110784A公开日：20110317
专利附图：
摘要：Array
申请人：SUMCO CORP,株式会社ＳＵＭＣＯ
地址：東京都港区芝浦一丁目２番１号
国籍：JP
代理人：特許業務法人特許事務所サイクス
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