专利名称：装配衬底的检查方法和系统与生产方法专利类型：发明专利
发明人：石羽正人,栗山淳,村上清,四谷辉久申请号：CN200710089883.8申请日：20050301公开号：CN101031200A公开日：20070905
摘要：本发明提供装配衬底的检查方法和系统与生产方法。具有装配于其上的组件的衬底是通过多个连续进行的生产步骤来生产的。提供检查装置，每个检查装置与包括最终步骤的这些生产步骤中不同的生产步骤相关联。这些检查装置在它们之间相互通信，并且均使用随后摄取的待检查的靶衬底的图像或者早期执行的生产步骤中获得的数据。
申请人：欧姆龙株式会社
地址：日本京都府京都市
国籍：JP
代理机构：隆天国际知识产权代理有限公司
代理人：吴世华
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