成膜方法和成膜装置[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：成膜方法和成膜装置专利类型：发明专利

发明人：芦泽宏明,藤井康,高桥毅,洪锡亨,山崎和良,中村秀

雄,布重裕,神尾卓史

申请号：CN201810400288.X申请日：20180428公开号：CN1087971A公开日：20181113

摘要：本发明涉及成膜方法和成膜装置，能够确保高生产性且得到高覆盖性的膜，并且能够供给具有规定的功能的添加气体。将被处理基板配置于处理容器内，使以下步骤实施规定个循环：经由第一载气流路和第二载气流路总是向处理容器内供给载气，经由原料气体流路向处理容器内供给原料气体的步骤；经由与载气相地设置的吹扫气体流路向处理容器内供给吹扫气体来吹扫原料气体的步骤；经由反应气体流路向处理容器内供给反应气体的步骤；以及经由吹扫气体流路向处理容器内供给吹扫气体来吹扫反应气体的步骤，在吹扫原料气体的步骤和吹扫反应气体的步骤中的至少一方中供给具有规定的功能的添加气体来作为吹扫气体的至少一部分。

申请人：东京毅力科创株式会社

地址：日本东京都

国籍：JP

代理机构：北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：刘新宇

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